【摘要】
微流控芯片屬于微型分析實驗裝置，所以在生產(chǎn)加工時也需要一些微電子及微機械制作技術(shù)的加持，對精度的要求會非常高，目前在加工微流控芯片時大致會用到六種設備：勻膠設備、
微流控芯片屬于微型分析實驗裝置，所以在生產(chǎn)加工時也需要一些微電子及微機械制作技術(shù)的加持，對精度的要求會非常高，目前在加工微流控芯片時大致會用到六種設備：勻膠設備、烘膠設備、光刻機、注塑設備、數(shù)控CNC設備和微流控激光焊接設備。
前兩種的勻膠設備和烘膠設備是用于光刻工藝的勻膠（制版的表面圖覆）、前烘（中烘、后烘）和堅膜；
而光刻機又名掩膜對準曝光機，工藝過程拿硅片材質(zhì)的微流控芯片來講，概括來說是在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程，或者說是將微通道結(jié)構(gòu)臨時“復制”到硅片上的過程。
注塑設備或者說注塑成型機就很好理解了，工藝過程概括來說是利用硅片或者玻璃、金屬、塑料等材質(zhì)的模具進行芯片注塑成型的加工過程。
用于微流控芯片的數(shù)控CNC設備對精度要求特別高，所以為了達成需求需要配合精度檢測設備來控制產(chǎn)品尺寸的精準和表面的粗糙度。
最后介紹的是激光焊接設備，也可以說是塑料激光焊接設備，工作原理十分簡單：在上料治具內(nèi)的模具中放置塑料件、薄膜和硅膠，之后加厚光學玻璃會自動壓緊產(chǎn)品，激光束會精確穩(wěn)固地焊接微流控部件，焊接完成后通道幾何形狀會保持原樣，不會讓熔化物流入狹窄的通道。
說到塑料激光焊接就要提一嘴了，一般來說塑料激光焊接的相容性、融合溫度和匹配性越接近，最終焊接完成的效果就越好，所以如果一般需要針對材質(zhì)進行打樣才能選配出最適合的設備。
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